Komponen utama mikroskop elektron pengimbasan termasuk:
Sumber Elektron – Di sinilah elektron dijana secara terma pada voltan 1-40kV. Elektron mengembun menjadi berkas yang digunakan untuk mencipta imej simulasi dan analisis. Tiga jenis sumber elektron boleh digunakan. wayar tungsten, lanthanum hexaboride dan senapang pelepasan medan (FEG)
Kanta - Ia mempunyai beberapa kanta pemeluwap yang memfokuskan pancaran elektron dari sumber melalui lajur ke dalam pancaran sempit, membentuk titik yang dipanggil saiz titik.
Gegelung imbasan – digunakan untuk memesongkan rasuk ke permukaan sampel.
Pengesan – terdiri daripada beberapa pengesan yang mampu membezakan antara elektron sekunder, elektron berselerak belakang dan elektron berselerak belakang terbeza. Kefungsian pengesan sangat bergantung pada kelajuan voltan, ketumpatan sampel.
Peranti paparan (peranti output data)
bekalan kuasa
Sistem vakum
Seperti mikroskop elektron penghantaran, mikroskop elektron pengimbasan harus bebas daripada getaran dan sebarang unsur elektromagnet.
